# 2D/3D Wafer Metrology System

Produktbasis aus einem Award-Eintrag; Angaben des Einreichers, kein eigener oder unabhängiger Test. Verfügbarkeit und Preis nicht geprüft.
Kanonische URL: https://tikki.wiki/produktwissen/2d-3d-wafer-metrology-system/
Quellenstand: 2026-10-09

Laut öffentlichem Award-Eintrag zu 2D/3D Wafer Metrology System: White Light Interferometry \(WLI\); 2D/3D kritische Dimensionen und Probe-Mark-Messungen. Diese Produktbasis gibt Angaben des Einreichers wieder; unabhängige Tests, Preis und aktuelle Verfügbarkeit sind noch nicht geprüft.

## Produktbasis
- **Messmethode:** Der Award-Eintrag beschreibt: White Light Interferometry \(WLI\) [1]
- **Anwendungsbereich:** Der Award-Eintrag beschreibt: 2D/3D kritische Dimensionen und Probe-Mark-Messungen [1]
- **Selbstüberwachung:** Der Award-Eintrag beschreibt: QCM-Funktion [1]

## Fragen und Antworten
### Welche Messmethode nutzt das 7980-System?
Laut Award-Eintrag: White Light Interferometry \(WLI\) [1]

### Für welche Messungen ist das 7980-System ausgelegt?
Laut Award-Eintrag: 2D/3D kritische Dimensionen und Probe-Mark-Messungen [1]

### Welche Funktion sorgt für stabile Leistung?
Laut Award-Eintrag: Selbstüberwachung QCM [1]

## Offene Punkte

## Quelle
1. 2D/3D Wafer Metrology System – Award-Eintrag — Taiwan Excellence — Award-Eintrag / Einreicherangabe — Abgerufen: 2026-10-09
   https://www.taiwanexcellence.org/en/award/product/1150262